Yêu cầu hiệu suất chính của mục tiêu phún xạ

Yêu cầu hiệu suất chính của mục tiêu phún xạ

Độ tinh khiết của mục tiêu phún xạ

Độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất chính của mục tiêu, bởi vì độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của phim. Tuy nhiên, trong các ứng dụng thực tế, các yêu cầu về độ tinh khiết của vật liệu đích cũng khác nhau.

Nội dung tạp chất của mục tiêu phún xạ

Các tạp chất trong chất rắn và oxy và hơi nước trong lỗ chân lông là nguồn chính của màng lắng. Các mục tiêu khác nhau có các yêu cầu khác nhau cho các nội dung tạp chất khác nhau. Ví dụ, các mục tiêu hợp kim nhôm và nhôm nguyên chất được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn có các yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và các nguyên tố phóng xạ.

Mật độ của mục tiêu phún xạ

Để giảm độ xốp trong chất rắn của mục tiêu và cải thiện hiệu suất của bộ phim phún xạ, người ta thường yêu cầu mục tiêu phải có mật độ cao. Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ, mà còn ảnh hưởng đến tính chất điện và quang của phim. Mật độ mục tiêu càng cao, hiệu suất của bộ phim càng tốt. Ngoài ra, việc tăng mật độ và sức mạnh của mục tiêu sẽ giúp mục tiêu chịu được áp lực nhiệt tốt hơn trong quá trình phún xạ. Mật độ cũng là một trong những chỉ số hiệu suất chính của các mục tiêu.

Kích thước hạt và phân bố kích thước hạt của mục tiêu phún xạ

Thông thường, mục tiêu là cấu trúc đa tinh thể, và kích thước hạt có thể từ micron đến milimet. Đối với cùng một mục tiêu, tốc độ phún xạ của mục tiêu với hạt mịn nhanh hơn so với mục tiêu có hạt thô và phân bố độ dày của màng được gửi bởi mục tiêu với chênh lệch kích thước hạt nhỏ (phân bố đều) đồng đều hơn.

Thông tin liên lạc:

E-mail: mail@refrachina.com

Địa chỉ: Suite A2202-03, Tòa nhà quốc tế Qujiang, Đường Yanzhan, Xi'an,

710061, Trung Quốc

Điện thoại: 86-29-85325399

Fax Fax 029-85325610